作者:武亮,陈锡候,王阳阳,黄奔 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2014年第08期 页数:6页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2014080080 DOC编号:DOCCGJS2014080089 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 时栅位移传感器采用时空坐标转换理论,可在低加工精度条件下实现角位移的高精度测量,现已应用于高精度数控转台控制系统中。原有的场式时栅位移传感器借鉴电机结构,通过转子线圈感应旋转磁场产生电行波,再通过滑环引出。为了消除滑环结构,进一步降低成本、提高传感器抗干扰能力,通过磁导调制方法产生两路驻波并合成电行波,采用两路驻波磁路分离式结构,设计去除转子绕线的磁导调制型时栅位移传感器。利用电磁仿真软件对传感器的各项参数进行仿真优化,传感器仿真电行波幅值变化6.1%;采用光栅进行精度标定实验,测量精度达到-2.7″~+2.2″。

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