作者：郑庭丽,梁庭,洪应平,任重,李赛男,熊继军 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2014年第09期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2014090070 DOC编号：DOCBDTQ2014090079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 研究了一种基于质量分数为96%氧化铝陶瓷的无线无源压力传感器，利用陶瓷的多层叠片技术、高温烧结技术和丝网印刷技术完成了压力传感器的设计和制备。分析了传感器的无线耦合测试的理论模型，提出了一种读取相位差值的检测方法，并通过搭建常温下的压力测试系统，对传感器在3 cm的测试距离以及0~2 bar(1 bar=105Pa)的压力变化下进行压力测试。测试结果表明，基于氧化铝陶瓷的传感器的谐振频率随压力的增大而减小，近似于线性变化，其灵敏度约为225 kHz/bar。

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