作者:王剑秋,吴宇列,张勇猛 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2014年第10期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2014100010 DOC编号:DOCCGJS2014100019 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 振动陀螺谐振子振型一般采用激光进行非接触式测量,这种方法存在设备成本高、操作复杂、效率低等问题,因此,提出了一种基于MEMS声传感器的圆柱壳体振动陀螺谐振子振型测试方法。该方法利用体积小,指向性高的MEMS声传感器对谐振子振动声场进行高分辨率测量,获得精确的谐振子振动分布情况,建立了谐振子声波测试实验系统,进行了测试实验,并与激光测振仪的测量结果进行比对。实验结果表明,该测试系统具有较高的振型测量精度。这种测试方法成本低,操作简便,测量精度高,可以实现谐振子振型的高精度快速测量,为后续的谐振子修形及陀螺控制提供重要基础。

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