作者:唐荣喜 单位:山西科技新闻出版传媒集团 出版:《科技与创新》2014年第07期 页数:2页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFKJYX2014070250 DOC编号:DOCKJYX2014070259 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 微悬臂梁结构因具有低成本、小体积、高性能等特点而被广泛应用于传感器的制作中,同时也成为当下传感器研究的热点。主要介绍微悬臂梁的结构、工作原理和它在传感器中的应用。

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