《浅析微悬臂梁的应用》PDF+DOC
作者:唐荣喜
单位:山西科技新闻出版传媒集团
出版:《科技与创新》2014年第07期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFKJYX2014070250
DOC编号:DOCKJYX2014070259
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微悬臂梁结构因具有低成本、小体积、高性能等特点而被广泛应用于传感器的制作中,同时也成为当下传感器研究的热点。主要介绍微悬臂梁的结构、工作原理和它在传感器中的应用。
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