作者：王丽英 单位：电子工业出版社;美国国际数据集团 出版：《今日电子》2014年第10期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZJR2014100010 DOC编号：DOCDZJR2014100019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • MEMS(Micro Electromechanical System，即微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。MEMS涉及电子、机械、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科，可以说囊括了当今科学技术发展的众多尖端成果。MEMS最初大量用于汽车安全气囊，而后以MEMS传感器的形式大量应用在汽车的各个领

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