作者：王跃林,苏以撒,王文 单位：中国电子学会 出版：《电子学报》1995年第10期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZXU510.0060 DOC编号：DOCDZXU510.0069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微机械加工技术发展概况(一)》PDF+DOC1998年第05期 鲍敏杭 《微机械薄膜的设计和制造》PDF+DOC1999年第03期 李立杰 《MEMS技术的现状和发展趋势》PDF+DOC2001年第01期 刘光辉,亢春梅 《微机械元件和仪器的新进展》PDF+DOC2000年第05期 邵培革,王立鼎 《微机械元件和仪器新进展》PDF+DOC1999年第01期 邵培革,王立鼎,任延同 《微电子机械系统计算机辅助设计》PDF+DOC1999年第10期 黄庆安,秦明,李伟华,匡一宁,朱珂,章彬,孟为民,鞠瑜华,严先蔚,张昭勇 《第六届国际固态传感器与执行器会议介绍》PDF+DOC1991年第05期 鲍敏杭 《微机械加工技术与微传感器》PDF+DOC2001年第05期 虞承端 《新型传感器的发展前景》PDF+DOC2008年第14期 高慧芳 《微电子机械系统》PDF+DOC 陈迪

    • 本文对国外微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的研究现况作了评述。介绍了ＭＥＭＳ的主要技术和它的应用情况，对国外的一些主要研究机构的情况进行了分析，最后就我国ＭＥＭＳ的发展提出了一些建议。

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