作者：吕楠,史峥,罗凯升,耿臻 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2014年第09期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2014090380 DOC编号：DOCCGQJ2014090389 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为提高光刻仿真效率，通过对光刻原理进行研究，提出了2种多边形处理算法，将掩模上的多边形图案进行切分优化，将其划分成若干矩形或三角形。在Linux环境下应用C语言设计出一个完整的光刻仿真系统，设计的具体光学参数为：光源波长为193nm，数值孔径为0.3~0.8，部分相干系数可调范围为0.2~0.8，可一次性仿真1μm&#215；1μm到10μm&#215；10μm范围内的45 nm~0.18μm工艺的复杂版图，并通过多次实验进行验证。实验结果表明：原版图图像的边缘细节得到保留，且该算法有效地减少了光刻模拟的计算复杂度与计算时间，整体效率提升20%以上，为当前智能传感器系统芯片的制造节省了宝贵时间。

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