作者：常丽,杨继敏 单位：中国光学学会 出版：《光学学报》2014年第06期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXXB2014060230 DOC编号：DOCGXXB2014060239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 叠栅条纹相位差测量是光栅位移测量中的关键技术，在两块光栅相对运动过程中，叠栅条纹信号的频率会因光栅夹角误差的存在而发生偏移，采用传统多相位快速傅里叶变换(MPFFT)算法计算任意时刻叠栅条纹相位值会产生测量误差，导致相位差测量不准确。为了减少频偏所产生的相位测量误差，提出了一种校正MPFFT相位测量算法，推导出了基于相位差校正法的MPFFT谱校正模型。仿真结果表明，在无噪声情况下，当光栅夹角误差为0.1&#176；时，信号的最大频率偏移量约为4.19kHz，传统MPFFT相位测量误差大于100&#176；，经相位校正后，相位测量误差小于0.2&#176；，相位差测量误差小于0.004&#176；；在高斯噪声和谐波干扰情况下，相位差测量误差小于0.2&#176；，当取栅距为20μm时，相位差测量误差所产生的位移测量误差小于0.0111μm，为光栅位移纳米级测量提供了参考。

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