作者：孙冰,田丰,齐景爱,高金雍,阎国英 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》2014年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ2014060030 DOC编号：DOCCGSJ2014060039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍原子力显微镜功能、原理和结构，用于检测原子之间的接触来呈现样品的表面形貌特性，如粗糙度、起伏不平整度等，提供三维表面图像。常用的是激光反射检测系统，由探针、激光发生器和光检测器组成。探针是由悬臂和悬臂末端的针尖组成，悬臂是由Si或Si3N4经光刻技术用MEMS技术加工而成。当在样品表面扫描的探针引起悬臂梁弯曲时，产生应力。再由压电陶瓷能将十几分之一纳米到几微米的位移而导致的应力信号转换成1mV~1000V的电信号，以代表样品表面的不平整度。同时简单介绍了利用原子力显微镜观察不同退火温度对制备的气敏传感器薄膜表面晶粒度的影响，以及不同腐蚀液抛光硅片的效果。

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