作者:高阳,李永红,岳凤英,孙玉环,刘期兵,魏坦勇 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2015年第12期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2015120090 DOC编号:DOCCGJS2015120099 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《溅射薄膜拉力传感器设计及性能分析》PDF+DOC2017年第04期 张恩凤,李永红,岳凤英 《基于MEMS的力传感器薄膜应变计加工工艺》PDF+DOC2006年第01期 王嘉力,高晓辉,姜力,刘宏 《康铜薄膜测力传感器的模型设计》PDF+DOC2014年第03期 李学瑞,武文革,成云平,李琦 《一种拉力传感器弹性体的结构设计与有限元分析》PDF+DOC2020年第08期 王晨,姜鑫,高波 《MIM结构薄膜应变栅的实验研究》PDF+DOC1998年第02期 于映,陈跃 《离子束溅射薄膜压力传感器》PDF+DOC1993年第02期 王洪业,安志超 《力敏元件及其应用(上)》PDF+DOC1988年第07期 任致程 《薄膜应变式传感器及其优点》PDF+DOC1984年第06期 颜重光 《镍薄膜电阻作为多功能传感器的温度敏感元件》PDF+DOC2001年第03期 王蔚,刘晓为,王喜莲,马战 《一种嵌入式薄膜切削力传感器的设计与研究》PDF+DOC2014年第01期 李琦,武文革,成云平,李学瑞
  • 介绍了一种基于弹性膜片结构的拉力传感器,敏感元件薄膜电阻应变栅采用离子束溅射、光刻技术与弹性体结合成一体。文中给出了传感器的基本结构及零点补偿和信号转接电路,介绍了薄膜电桥的制备过程,并对弹性体进行了仿真与分析。实验结果显示,该传感器在满量程范围内能满足设计要求,其额定载荷为850 N,灵敏度优于0.013 77 m V/N。且其安全过载系数约为6.62,为同类拉力传感器的2~3倍。对传感器的标定表明,该传感器的综合误差不大于额定输出的0.013%。

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