作者：陈宏海,刘武,孙永明,张卫平,陈文元,崔峰,吴校生 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2013年第01期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2013010100 DOC编号：DOCBDTQ2013010109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 利用非硅微机械加工技术，制作了一种柔性热线式剪切应力微传感器。该传感器以聚酰亚胺膜为基底，可与被测曲面物体紧密贴合，具有较好的测量适应性和准确性。传感器采用线性度好、温度系数较高的铂金属制作敏感热线。为减少对被测流场的干扰且便于传感器的信号传输，传感器使用了背面引线结构。设计了恒温工作模式的传感器检测电路，并对电路的工作原理和参数设置进行了详细分析。对传感器进行了风洞实验，绘制得到剪切应力与输出电压的关系曲线。实验结果表明，设计制作的传感器及其电路可行。

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