作者：石强,桑胜波,奉辉,赵媛 单位：中国电子学会;中国电子元件行业协会 出版：《电子元件与材料》2013年第10期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZAL2013100190 DOC编号：DOCDZAL2013100199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 在总结传统微悬臂梁表面应力生物传感方法缺陷的基础上，提出了基于PDMS(polydimethylsiloxane，聚二甲基硅氧烷)微薄膜的电容式表面应力生物传感器，分析了其基本结构原理及优点，并运用ANSYS软件建立了传感器仿真模型，对相同表面应力下，Au电极大小不同的薄膜形变进行了仿真，计算输出电容。结果表明，薄膜形变量及电容改变量与Au电极在PDMS薄膜上的覆盖率有关，通过比较输出电容改变量与薄膜形变之间的关系，得出了传感器最优结构尺寸。

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