作者：鲍芳,张德平 单位：工业和信息化部电子第五研究所 出版：《电子产品可靠性与环境试验》2013年第05期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZKH2013050240 DOC编号：DOCDZKH2013050249 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • MEMS压力传感器是用半导体制造工艺制备的微机械器件，是一种包含各种物理和化学理论的复杂系统，因而在评估其可靠性时不仅要考虑到传统的电学性能，还应该考虑其特殊的机械结构、材料力学等方面的的可靠性评价方法。概述了MEMS传感器产品最主要的失效现象，并着重介绍了常用的可靠性评价标准和测试项目。

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