作者：林引,谢昭莉,陈皎 单位：中国计算机自动测量与控制技术协会 出版：《计算机测量与控制》2007年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJZCK2007040520 DOC编号：DOCJZCK2007040529 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MEMS热膜式微流量传感器》PDF+DOC2013年第07期 侍艳华,何秀丽,高晓光,贾建,李建平 《一种智能型气体流量传感器的设计》PDF+DOC2005年第03期 刘焱,宋彦峥 《热隔离式MEMS气体流量传感器的设计》PDF+DOC2020年第08期 徐洋 《恒温热线式气体流量传感器的研究》PDF+DOC2000年第05期 陈宝远,修爱军,王双 《气体流量传感器的结构、原理及其在呼吸机中的应用》PDF+DOC2005年第03期 林慧琼,刘坤涛 《微桥式传感器在微小气体流量测量中的应用》PDF+DOC2003年第S2期 张敏,周鑫玲,王向军 《一种基于MEMS技术的新型谐振式微流量传感器》PDF+DOC2009年第12期 郭然,陈德勇,王军波 《气体流量测量系统的设计》PDF+DOC2007年第03期 杨世忠,邢丽娟 《基于数据融合理论对空气流量传感器进行温度补偿的研究》PDF+DOC2006年第09期 王蒙,史达,陈晓娟 《用于光气动探测的微流量传感器》PDF+DOC2013年第03期 赵永翠,何秀丽,赵玲,李建平,高晓光,贾建

    • 根据MEMSic(微电子机械系统集成芯片)加速度传感器的工作原理及特点，提出把加速度传感器作为流量传感器应用于气体微流量检测中，为了验证，建立了一套实验装置用于MEMSic加速度传感器检测气体的流动变化，利用PIC单片机对数据进行采集和处理，经过具体实验验证，在不同温度下，经过一定的温度补偿，当气体流量从0到50sccm发生变化，加速度传感器是能够精确的测量出流量的变化，说明了MEMSic加速度传感器对微流量的检测具有较高的灵敏度和稳定性。

    📙 相关资料

    1. 《MEMS热膜式微流量传感器》PDF+DOC 针对气体红外吸收的气动探测应用，设计并制备了一种基于微电子机械系统(MEMS)技术的热膜式微流量传感器。研究了热敏电阻间距以及工作温度对传感器灵敏度的影响。当热敏电阻间距为200μm、工作温度为150℃以及气体流量在-5～5 mL/min时，微流量传感器输出信号与气体流量成线性关系，灵敏度约为299......
    2. 《一种智能型气体流量传感器的设计》PDF+DOC 设计了一种热线式气体流量传感器。介绍热线式传感器的工作原理和温度特性以及前项通道的电路设计，它采用计算机处理技术，利用热平衡原理，根据热量的传递转移来确定流体的速度，再通过数据融合算法，实现传感器的温度补偿和线性补偿，以获得较高的线性度和温度稳定性。最后给出了传感器的性能测试结果。...
    3. 《热隔离式MEMS气体流量传感器的设计》PDF+DOC 本文设计了一种热隔离式MEMS气体流量传感器系统，系统基于复合支撑薄膜电调制红外辐射源，是单片式电容硅基微传声器，借助接口连接微孔粉尘过滤、低温除湿器，实现MEMS与IC集成。在紧急应急方面，借助长光程气体池、光路系统，对光源、检测器进一步优化，通过可扩充多气体分析软件、仪器自动操控软件，在线监测化......
    4. 《恒温热线式气体流量传感器的研究》PDF+DOC 本文通过理论分析对金属丝在强迫热交换下 ，建立测量气体流量数学模型 ；并设计了温度补偿电路 ，通过实验数据对其性能作出了评价 ，使恒温热线式气体流量传感器 ，具有灵敏度高、响应速度快、测量范围宽等特点。本文测量方法可广泛应用于各种可燃气体流量的测量。...
    5. 《气体流量传感器的结构、原理及其在呼吸机中的应用》PDF+DOC 本文以美国Honeywell公司的AWM系列气体流量传感器为例 ，介绍了该类产品的结构、原理以及其在呼吸机中的应用。...
    6. 《微桥式传感器在微小气体流量测量中的应用》PDF+DOC 介绍一种新型气体流量传感器——AWM系列微桥式气流质量传感器在微小气体流量测量中的应用。简介其原理和在尘埃粒子计数器中的应用，并与浮子式流量计相比较，它可使尘埃粒子计数器体积减小、操作简便、检测精度提高。...
    7. 《一种基于MEMS技术的新型谐振式微流量传感器》PDF+DOC 提出了一种新颖的微机械谐振式微流量传感器。该传感器采用电磁激励方式。传感器主要由1个3μm厚H型谐振器、1个40μm厚的悬臂梁平板(2000μm&#215；5000μm)以及连接平板和框架的2根40μm厚的支撑梁组成。谐振器采用低应力富硅氮化硅SiN制作，可以方便地使用湿法腐蚀释放谐振器，从......
    8. 《气体流量测量系统的设计》PDF+DOC 文章介绍了一种新型的高精度、低成本的流量传感器，分析了流量测量的原理。重点阐述了恒温工作方式下热线式传感器的数学模型和设计方法。设计中根据热平衡原理，通过热量的传递转移来确定流体的速度，通过数据融合算法，实现传感器的温度补偿和线性补偿，以获得较高的精度和温度稳定性。实践表明，该设计方法具有较高的准确......
    9. 《基于数据融合理论对空气流量传感器进行温度补偿的研究》PDF+DOC 介绍了热线式气体流量传感器的敏感机理，它是根据热平衡原理在电流和气体流量之间建立确定的函数关系，由此得出了传感器的数学模型.在实际应用中，温度的变化会影响到气体的热传导、密度等特性，导致传感器输出信号的变化.提出了将数据融合理论应用于传感器的温度补偿，对流量和温度同时进行监测，采用线性回归分析法，建......
    10. 《用于光气动探测的微流量传感器》PDF+DOC 针对气体红外吸收的气动探测应用，设计了基于MEMS技术的Sandwich结构硅基微流量传感器。在1 mm2面积内制备了阻值约1.6 kΩ的蛇形Pt薄膜作为加热及测温电阻，其电阻-温度系数(TCR)约2.2&#215；10-3/℃.Pt薄膜采用4μm厚氮化硅悬梁作支撑，在125℃工作温度下功耗......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。