作者:贾丁立,胡明,李明达,刘青林 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2013年第08期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2013080070 DOC编号:DOCCGQJ2013080079 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 采用快速热处理的方法,提高了室温下WO3薄膜气体传感器对NO2的敏感特性。首先采用直流对靶磁控溅射的方法在Al2O3陶瓷基底上沉积纳米WO3薄膜,然后在N2∶O2=4∶1的混合气氛中,分别在500,600℃和700℃的热处理温度下对纳米WO3薄膜进行快速热处理。所得样品表面形貌用扫描电子显微镜(SEM)进行观察,晶体结构用X射线衍射仪(XRD)进行表征,在室温下检测经过不同热处理温度的样品在LED光照下的WO3薄膜气体传感器的NO2敏感性能。结果表明:经过600℃快速热处理的样品的气敏性能最好,其具有较大的比表面积,灵敏度最高,在室温下可以达到100,且具有较好的响应恢复特性,测试环境的辅助激励光源LED易与IC集成,具有降低能耗、简便实用的特点。

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