作者:苏乾益,王忆南,蕈蔓 单位:中国计量科学研究院 出版:《中国计量》2017年第04期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFJILA2017040510 DOC编号:DOCJILA2017040519 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《热式气体质量流量传感器的工作原理》PDF+DOC2017年第01期 苏乾益,吴薇 《热隔离式MEMS气体质量流量传感器设计》PDF+DOC2016年第06期 谷永先,曾鸿江,邬林,胡娜娜,钱江蓉 《采样器气体流量闭环控制研究》PDF+DOC2017年第01期 吴付祥,陈建阁,王静宇 《热线式空气流量变送器》PDF+DOC2001年第06期 宋彦峥,亢春梅,徐凌 《悬桥式微流量传感器》PDF+DOC1996年第03期 能斌,陆德仁,王渭源 《热式气体质量流量传感器研究与发展》PDF+DOC2005年第10期 孙承松,李瑞 《热电薄膜型气体流量传感器的热模拟分析》PDF+DOC2002年第06期 张昭勇,张昭猛,秦明,黄庆安 《分流量热式气体流量计的研制》PDF+DOC2002年第04期 郭仁东,吴昊,韩晓微 《基于数据融合理论对空气流量传感器进行温度补偿的研究》PDF+DOC2006年第09期 王蒙,史达,陈晓娟 《呼吸机流量传感器的测量原理与维护保养》PDF+DOC2013年第04期 陈荣,黄焕炜
  • 一、前言热式气体质量流量传感器是气体质量流量控制器中一个重要的核心部件,对气体质量流量控制器的性能指标,如零漂、准确度、线性、重复度、响应时间等重要指标参数有直接影响。要使气体质量流量控制器的性能指标得到明显改善,首先就要提升热式气体质量流量传感器的性能。然而,热式气体质量流量传感器的性能与其本身的结构参数设计是密切相关的。如

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