作者：李璐,张金英,杨天辰,何秀丽,陈硕,郑天祥 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2017年第07期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2017070050 DOC编号：DOCYBJS2017070059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对电气设备中SF_6气体泄漏监测的需求，设计制备了基于硅尖阵列的SF_6传感器。完成了基于硅尖阵列的多针-板型负电晕放电气体传感器结构设计，主要包括硅尖阵列负电极、Au平板正电极、绝缘隔离层3部分。利用物理场有限元仿真软件COMSOL分析了针尖高度、针尖距离及电极间距对电场分布的影响，优化了器件结构参数。介绍了硅尖阵列负电极及Au平板正电极的MEMS工艺流程，完成了传感器的封装。搭建了测试系统，在不同湿度条件下测试了器件对0~100 ppm SF_6气体的响应。结果表明，设计制备的基于硅尖阵列的多针-板型电晕放电传感器可用于SF_6气体检测。

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