作者：袁雪松 单位：陕西省电子技术研究所;陕西电子杂志社 出版：《物联网技术》2017年第08期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWLWJ2017080340 DOC编号：DOCWLWJ2017080349 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 惯性传感器件是应用最为广泛的微机电系统器件之一，MEMS加速度计则是惯性传感器件的杰出代表。文中阐述了MEMS加速度计在不同量程下的温度影响性能测试方法。

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