作者：赵玉龙,刘岩,孙禄 单位：南京航空航天大学;全国高校机械工程测试技术研究会 出版：《振动.测试与诊断》2012年第06期 页数：9页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZDCS2012060020 DOC编号：DOCZDCS2012060029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 结合机械故障信息监测的需求，将微机电系统(micro electro-mechanical system，简称MEMS)传感器技术引入到机械装备的振动测量中，介绍了压阻式MEMS加速度传感器的检测原理、结构设计、微加工工艺及其关键技术。以“小变形-大应力”为敏感结构设计思路，研制了梁膜结构、孔缝双桥结构以及复合多梁结构3种高频加速度传感器，以满足高速制造装备的振动信号监测对传感器的需求。通过静态、动态性能测试实验可以看出，3种结构均在一定程度上提升了传感器的测量性能，实际测振实验也说明所研制的MEMS加速度传感器具备了装备振动信号检测所需的功能。具有微型化、低成本以及可大规模生产潜力的MEMS传感器的发展为高端机械制造装备的发展提供了新的器件支持，推动主轴部件等的智能化、一体化发展。

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