作者：张海波,唐杨超,匡也 单位：北京长城航空测控技术研究所 出版：《测控技术》2017年第10期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFIKJS2017100190 DOC编号：DOCIKJS2017100199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为改善电感位移校准装置校准精度、校准量程及动态频响难以兼顾的问题，采用宏/微运动控制方法驱动校准装置作快速、精密、大范围定位。在简述校准方法工作原理及结构之后，对以静压双V导轨/直线电机组合的宏动平台及以柔性铰链/压电陶瓷组合的微动平台进行动力学建模，并获得宏微平台的传递函数。设计微动跟随宏动和宏动跟随微动两种控制策略，并进行建模和仿真分析，对比两种控制策略下的测量结果并分析原因。设计并搭建实验平台后进行校准装置的性能测试，实验结果表明：宏动跟随微动控制策略具有更高的动态频响性能，校准装置在全行程20 mm内分辨力达到5 nm，在幅值为0.05 mm的正弦频率响应实验中，动态频响达到100 Hz，可满足电感传感器的动静态校准要求。

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