《氮化镓材料在传感器中的应用》PDF+DOC
作者:刘义鹤,江洪
单位:北京新材料发展中心
出版:《新材料产业》2017年第05期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFXCLY2017050030
DOC编号:DOCXCLY2017050039
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氮化镓(GaN)是直接宽带隙半导体材料,属于第3代半导体。相较于硅、砷化镓等,GaN的禁带宽度更大、击穿电场强度更高,具有更高的电子饱和度和漂移速率、更强的抗辐照能力以及较强的化学稳定性。氮化镓材料与硅、砷化镓材料的电子性能对比如表1所示。目前GaN制备工艺成熟,已经能够利用GaN制造出结构复杂的器件。GaN基紫外探测器由于在可见光和红外光范围内都没有响应,其在可见光和红外光背景下的紫外光探测具
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