作者:朱熠,陈涛,王建立,李宏壮,吴小霞 单位:中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版:《光学精密工程》2017年第10期 页数:13页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGXJM2017100020 DOC编号:DOCGXJM2017100029 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 采用直接最小二乘法和自由谐振法对大口径高刚度SiC主镜进行主动校正易引入较多解算误差,故本文提出以主镜的本征模式进行主镜面型校正来优化解算校正力幅值,以改进系统校正效果。该方法首先对主镜的响应矩阵进行一系列数学转换,得到一组相互正交的主镜本征模式,然后以各模式面形拟合校正目标,解算校正力。对1.23m SiC主镜和主动支撑系统进行了有限元建模,通过仿真验证了提出方法的正确性。在此基础上,在搭建的1.23m SiC主镜主动光学实验系统上进行了主动光学校正实验,并针对实验系统进一步优化了提出的方法。实验结果显示:利用该方法可将实验系统主镜面形误差由0.23λRMS校正至0.048λRMS,表明以主镜本征模式进行主动校正,可有效抑制解算校正力幅值,提高系统校正能力。该方法适用于大口径、高刚度SiC主镜的主动校正。

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