作者：郑振峰,王浅安 单位：北京无线电技术研究所 出版：《电子测量技术》2019年第15期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZCL2019150130 DOC编号：DOCDZCL2019150139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 选择电磁激励硅基MEMS谐振式压力传感器作为测试对象，配套了相应的测试设备，设计了一种可以快速测试传感器频率的基于自适应周期的同步测频方法。选择双谐振器结构来配置传感器芯体，以STM32f3系列单片机构建频率测试和压力解算系统。利用McU来实现同步采集传感器的两路频率信号和解算压力值的过程，同时利用RS232通信模块输出传感器的压力值。测试结果得到：以25 ms作为采样条件时可以控制压力输出波动在&#177；5 Pa以内。升温阶段的传感器输出压力和标准器之间的偏差都在&#177；30 Pa以内，符合传感器的测试要求。

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