作者：吕文,谭秋林 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2019年第06期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2019060060 DOC编号：DOCBDTQ2019060069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种基于WS_2纳米片的聚酰亚胺柔性湿度传感器，传感器柔性薄膜和叉指电容电极分别采用加热亚胺化工艺和丝网印刷制备得到，其制备工艺简单，成本低廉。实验表明该柔性湿度传感器能够测量25%RH～85%RH的湿度，且在高湿度范围内(60%RH～85%RH)，该柔性湿度传感器的灵敏度高达50.42 pF/%RH。传感器的响应和恢复时间分别为11和26 s，具有较好的稳定性和重复性。此外，该柔性传感器的呼吸性能测试结果表明，其能够用于监测时间间隔为2～10 s的呼吸状态，暗示该传感器可用于某些和呼吸频率有关的疾病诊断。

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