作者：郑玮玮,刘学观,赵光霞 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2011年第07期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2011070060 DOC编号：DOCYBJS2011070069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 对传感器的灵敏度理论进行了详细分析，得到了传感器的灵敏度与应力和应变的关系。通过有限元仿真软件对传感器的灵敏度和线性度进行了研究，分析了膜片的厚度、岛的高度和梁膜片的长度对传感器性能的影响，为传感器芯片的设计提供了重要的依据。

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