作者：尚飞,胡潇然,张千,刘帅,向勇 单位：电子科技大学 出版：《电子科技大学学报》2020年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDKDX2020020200 DOC编号：DOCDKDX2020020209 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对物体表面形貌无损探测，提出了一种基于大面积薄膜晶体管(TFT)和聚偏氟乙烯(PVDF)薄膜的表面形貌探测方法，具有大面积、可覆形、便携化和高精度的特点。该方法利用电容传感器原理，将已广泛应用于半导体显示领域的TFT阵列与传感器相结合，可精确定位物体表面微米级缺陷，测量分辨率达到50μm，实现了对物体表面形貌的精准无损探测。

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