作者：娄云鸽,陈伟伟,张伟 单位：机械部北京机械工业自动化研究所 出版：《制造业自动化》2015年第23期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJXGY2015230330 DOC编号：DOCJXGY2015230339 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了自行研制的超精密轮廓仪，其最大测量口径为Φ1250mm，综合测量精度指标为&#177；0.5μm。该轮廓仪采用柱坐标接触式测量方法，通过测量子午线方法实现对光学元件的轮廓度的评定，其精度适用于精磨粗抛阶段的检测。根据子午线理论方程分析了最小二乘原理轮廓度的评定理论，列出满足轮廓仪结构的测量路径，介绍了轮廓仪机械结构、测控和软件流程等相关内容，最后通过标准球对测量仪的综合使用精度进行标定。

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