作者：李玉欣,陈宝成,孙帅,姜晓龙 单位：黑龙江省科学院 出版：《黑龙江科学》2020年第20期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHELJ2020200020 DOC编号：DOCHELJ2020200029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 某型号电容式真空传感器在实际使用过程中发生失效，表现为在不同介质压力下输出几乎稳定不变。通过解剖失效传感器，排除电路故障造成的产品失效。建立传感器薄弱环节的有限元模型，分析产品满量程时的状态，并应用变分法，采用Matlab软件进行理论验证，验证有限元模型建立的正确性。采用该模型对产品进行满量程、二倍过载、四倍过载及千倍过载情况下的状态分析。产品动电极在千倍过载工况下发生塑性变形，在介质压力消失后，不能恢复初始状态，造成传感器产品发生失效。采用电镜对失效电容式真空传感器的动电极断截面进行观察，存在明显的“缩颈”现象，验证了有限元失效分析的正确性。

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