作者：金庚,王栎皓,朱银芳,刘晓晨,赵俊元,郭阳宽,杨晋玲 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2020年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2020060070 DOC编号：DOCYBJS2020060079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 文中提出了一种基于MEMS悬臂梁的生物检测系统。针对多通道MEMS悬臂梁阵列传感芯片响应迅速、灵敏度高、输出信号微弱等特点，设计了基于两级放大电路、锁相环及等精度计数的低噪声、高稳定性的信号处理与频率检测电路；构建了基于蠕动泵、气泵与MCU控制电路的微流体驱动控制系统，该系统具有体积小、精度高、功耗低等特点。测试结果表明，该生物检测系统对生物样品检测具有良好的准确性和重复性，开环测试误差小于&#177；0.3 Hz，闭环误差小于&#177；0.002 Hz，微流体控制精度最小可达0.247μL。

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