作者：崔昊,郭锐,李兴强,丛日刚 单位：中国光学学会;中国科学院上海光学精密机械研究所 出版：《中国激光》2020年第09期 页数：10页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJJZZ2020090160 DOC编号：DOCJJZZ2020090169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为解决基于位置敏感器件(PSD)的激光三角位移传感器在复杂光电噪声干扰下的精密标定问题，提出一种多元自适应卡尔曼滤波(MAKF)与非均匀B样条曲线拟合的联合标定方法。通过分析测量原理和计算方法，对位移传感器的非线性特性进行了详细说明，进而提出应用曲线拟合的方法进行非线性标定。针对曲线拟合的特点，设计了一种多元自适应卡尔曼预处理算法用于滤除光电噪声干扰；通过非均匀的节点矢量划分，构建了B样条曲线拟合模型，进一步提高了标定系统的精度。在实际工况下进行了标定实验，实验结果表明，该曲线拟合标定方法能够完成激光位移传感器的高精度标定，其定位精度为0.7%，平均测量误差可达0.012 mm，标定均方误差约为2.12&#215；10~(-5) mm~2。

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