作者：周琪,张旭,李思鸣,王培贤,周围,张思祥 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2019年第06期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2019060080 DOC编号：DOCBDTQ2019060089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 对光离子传感器的结构进行了优化研究，针对光离子化传感器灯面残留物干扰问题采取了自清洁双紫外灯式传感器的新型结构，同时利用有限元法对传感器气流场进行仿真实验。通过对仿真实验的结果进行分析，对微型传感器进行了进一步的气路优化，并最终确定选择轴向流动结构的电离室。采取新型纳米材料氧化石墨烯对传感器的收集极板进行表面修饰，改善了光离子化传感器的气敏特性，提高了灵敏度。通过实验分析，详细阐述了传感器的各项性能指标，测定传感器针对甲苯的最低检测限为2.5&#215；10~(-7)，并对线性度响应进行了分析，线性相关系数达到了0.993，通过实验验证了双紫外传感器对整体气敏特性的提升，为可挥发性有机物(VOC)气体检测提供了理想的检测单元。

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