作者：赵正平 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2019年第02期 页数：11页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2019020010 DOC编号：DOCBDTQ2019020019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《Consensic推出MEMS电容式压力传感器》PDF+DOC2011年第10期 《MEMS传感器和智能传感器的发展》PDF+DOC2007年第09期 刘凯,陈志东,邹德福,马丽敏 《柔性MEMS流速传感器的测控电路设计与实验》PDF+DOC2018年第11期 樊冬,崔峰,张卫平,刘武,吴校生 《智能温度传感器的设计与应用》PDF+DOC1997年第02期 李建朝 《基于微控制器的风速风向传感器系统设计》PDF+DOC2009年第10期 张燕波,沈广平,董自强,秦明,黄庆安 《基于MEMS重力检测的数字水平仪》PDF+DOC 张秀再,陈彭鑫,吴华娟 《MEMS硅铝异质结构压力传感器的设计制作与测试研究》PDF+DOC2018年第07期 张加宏,陈剑翔,冒晓莉,李敏,王银 《智能传感器》PDF+DOC1999年第10期 赵志诚 《7258型水氧表氧传感器结构改进及废旧氧传感器的回收处理》PDF+DOC1990年第05期 刘秋生 《电阻悬浮的MEMS热膜式气体流量传感器设计》PDF+DOC2012年第09期 代富,高杨,官承秋,周斌,何移

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