作者：樊冬,崔峰,张卫平,刘武,吴校生 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2018年第11期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2018110020 DOC编号：DOCYBJS2018110029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对MEMS流速传感器量程小及无法应用于曲面的不足，设计制造了一种柔性MEMS流速传感器，其结构主要包含加热电阻和3对测温热电阻，同时结合热损失和热温差工作原理来实现宽量程的流速测量。设计了带温度补偿的双惠斯登电桥测控电路，利用STM32微处理器ADC模块对多路流速测量结果进行采样。测试实验实现了0～32 m/s的输入风速测量，其中在1 m/s以下的低风速段内传感器具有100 m V/(m&#183；s~(-1))的较高灵敏度，在风速(1～7 m/s)和(7～32 m/s)下的灵敏度分别为83.1 m V/(m&#183；s~(-1))和28.3 m V/(m&#183；s~(-1))。该柔性MEMS流速传感器可贴于曲面应用，测量范围大、精度高。

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