作者:叶子,孙宁,刘伟景 单位:中国电子科技集团公司第十三研究所 出版:《微纳电子技术》2019年第05期 页数:8页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTQ2019050060 DOC编号:DOCBDTQ2019050069 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 通过水热法制备不同原子数分数铜(Cu)掺杂氧化锌(ZnO)纳米棒材料,并通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和X射线光电子能谱仪(XPS)对所制备样品的结构形貌及表面价态进行表征与测量。采用介电泳(DEP)操控技术将不同材料按照电场的分布均匀排列在叉指电极之间,制成电容式湿度传感器。测试数据表明与未掺杂ZnO样品相比,Cu掺杂ZnO样品尤其是原子数分数2%及5%Cu掺杂ZnO,具有更好的灵敏度等传感特性。Freundlich模型拟合结果表明,Cu掺杂能够有效提高材料的湿度吸附强度与容量。同时结合复阻抗频谱与多层吸附理论对传感机理进行深入讨论,结果表明适量Cu掺杂能够有效提高敏感材料中氧空位浓度,进而提供更多吸附位点,提高湿度传感特性。

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