作者：姜慧娜,宋小军,刘伟景,李高芳,黄宁,赵婉婉,石张军 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2018年第09期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2018090030 DOC编号：DOCBDTQ2018090039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 通过水热法制备3种尺寸的氧化铜(CuO)片状纳米结构，采用介电泳方法将所制备纳米结构定位到预先设计的Ti/Au电极上，以此为基础来构建湿度传感器并进行传感特性测试。实验结果表明：氧化铜纳米结构尺寸为4，3和1μm，相对应所构建的湿度传感器的灵敏度分别为0.436，0.665和0.891 kΩ/RH%。发现氧化铜纳米结构的尺寸越小，以之为敏感元件的湿度传感器的灵敏度越高。结合多层吸附理论模型，深入讨论了纳米结构尺寸对湿度传感特性的影响。分析结果表明，通过对依赖于纳米结构尺寸的比表面积和表面原子活性的调控，可以有效改善纳米湿度传感器灵敏度等性能。

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