作者：胡惠文,魏榕山 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2019年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2019060310 DOC编号：DOCCGQJ2019060319 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 提出一种基于Sigma-Delta调制的电容传感器芯片，采用三阶Sigma-Delta调制技术实现了电容到数字信号的直接转换，并通过补偿电容器矩阵扩展可测电容值范围，利用电流饥饿型OTA提高运放电流利用率，降低整体功耗。采用SMIC 0. 18μm CMOS工艺，利用Cadence工具对电路进行仿真验证，在2 V的供电电压下，共消耗电流18. 6μA，0. 8 ms转换时间内，调制器实现三阶噪声整形功能，可测输入电容范围为0～8 pF，并实现良好的线性度。

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