作者：宋斌,柳华光 单位：机械工业部仪器仪表综合技术经济研究所;中国仪器仪表行业协会 出版：《中国仪器仪表》2018年第12期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZYQB2018120190 DOC编号：DOCZYQB2018120199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 建立了MEMS陀螺仪叠成封装结构有限元模型。采用商业有限元软件分析MEMS陀螺仪在温度循环，随机振动，机械冲击下的应力情况，以提高MEMS陀螺仪在环境应力下的可靠性。

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