作者：王剑,安燕,刘明华,刘久玲,何世堂 单位：中国科学院声学研究所 出版：《应用声学》2019年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYYSN2019010200 DOC编号：DOCYYSN2019010209 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 该文实验研究了退火温度对声表面波检测器电极表面粗糙度的影响。电极表面的粗糙度随着退火温度不同而变化，实验中分别选择常温(25?C)、200?C和300?C作为退火温度对两种镀膜方式制备的声表面波器件进行退火，最后得到退火温度和电极表面粗糙度的对应关系。从实验结果来看，退火温度为200?C时，得到的电极表面粗糙度最大。该研究为声表面波检测器表面粗糙度优化及灵敏度提升提供了基础。

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