作者：雷程,唐力程,毛海央,王岩,王玲,胡建东,欧文,熊继军 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2016年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2016010030 DOC编号：DOCYBJS2016010039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对现有的MEMS湿度传感器制备工艺复杂、灵敏度较低等问题，文中报道了一种基于纳米化聚酰亚胺材料的MEMS湿度传感器，该器件的感湿材料是利用等离子技术对聚酰亚胺进行表面修饰制备的，该方法简单且与CMOS工艺兼容。同时文中对同样结构基于亚胺化聚酰亚胺材料和纳米化聚酰亚胺材料的两种器件在不同湿度条件下的电容响应特性进行了测试，测试结果表明，在相对湿度50%~80%范围内，基于纳米化聚酰亚胺材料的器件灵敏度高于同样结构基于亚胺化聚酰亚胺材料器件约50%。

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