作者:张艳华,陈玉玲,史岩峰,王强 单位:北京无线电技术研究所 出版:《电子测量技术》2018年第01期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDZCL2018010250 DOC编号:DOCDZCL2018010259 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《高可靠性压力传感器的设计与研究》PDF+DOC2017年第10期 张艳华,陈玉玲,史岩峰,姜志国 《高可靠性压差传感器的设计与测试》PDF+DOC2018年第05期 陈玉玲,史岩峰,张艳华,张巧寿 《SOI压力传感器及其应用》PDF+DOC2009年第S1期 孙克,吕艳,张东旭 《矿用压力传感器敏感元件温度漂移补偿技术》PDF+DOC2008年第03期 王秋蓉 《飞行器气动参数测试系统设计》PDF+DOC2015年第02期 石军辉,李永红,王恩怀 《基于数值分析的压力传感器温度补偿方法研究》PDF+DOC2020年第08期 刘鹏,何伟丰,刘清龙,吴振 《压电式压力传感器温度补偿算法的研究》PDF+DOC2019年第03期 谭士杰,刘凯,代波 《压敏电阻集成压力传感器》PDF+DOC1985年第03期 K.Yamada,李华 《CYBJ-971型溅射金属薄膜压力传感器及其在自容式下井系统中的应用》PDF+DOC2002年第01期 曾永红,易新建 ,曾延安 《一种压力传感器的零点补偿电路》PDF+DOC2012年第10期 王方德
  • 为了满足工程领域对高可靠传感器的实际需求,提出了高可靠性压力传感器的设计方法,该设计方法包括敏感元件设计、整机结构设计和电路设计。敏感元件芯片为SOI芯片,结构为隔离密封结构,装配工艺成熟可靠;敏感元件通过电子束焊接技术固定连接,传感器密封强度大;电路设计采用基于MAX1452的温度补偿方法,输出温度漂移小。最后,传感器通过性能测试以及环境试验的考核,试验结果表明采用该方法设计的传感器能够满足实际使用要求。传感器在150℃下零点温度漂移和灵敏度温度漂移均小于±0.1%/℃。

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