《高可靠性压差传感器的设计与测试》PDF+DOC

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2. 《背压式硅压阻压差传感器的研制》PDF+DOC 根据伺服系统高精度、高可靠性的测量需求，研制一种背压式硅压阻压差传感器。传感器基于硅的压阻效应，与目前硅压阻压差传感器使用薄膜隔离式敏感芯体不同，其感压芯片的背部直接接触被测介质感受压力，避免了硅油介质传递压力。因此，敏感芯体结构简单可靠，提高了传感器长期承压的可靠性。介绍背压式硅压阻压差传感器的原......
3. 《无介质硅压阻式压力/压差传感器的研制》PDF+DOC 目前，硅压阻式压力/压差传感器在伺服系统上得到广泛的应用。但是由于其内部压力敏感芯体的封装结构为薄膜隔离式，其内部硅油的密封性是伺服系统配套传感器长期带压贮存的软肋。根据伺服系统对压力/压差传感器的需求，研制了几种无介质压阻式压力/压差传感器，其内部避免了硅油介质传递压力，保证了传感器的可靠性。通过......
4. 《小型共面接口压差传感器》PDF+DOC 小型共面接口压差传感器是一种压力传感器，该传感器主要用于测量和控制两个油路压力差。该产品采用SOI硅晶圆材料制作硅压阻式压力敏感芯片，敏感元件的工作温度范围为-55~300℃，通过双芯体结构将油路的压力差信号转换成电信号，再利用精密的信号处理电路，将微弱的电信号进行放大处理，实现标准的模拟信号输出。...
5. 《高频响小体积三轴加速度计设计与实现》PDF+DOC 设计了一种基于微机电系统(MEMS)技术的高频响三轴加速度计，内部集成滤波电路和放大电路，实现了传感器与变换器的一体化。电路设计简单可靠，功耗低，稳定性好。电路板的结构采用刚挠结合印制板的设计，保证了传感器输出的高精度和低噪声特性。整机结构体积小巧，刚性好，3个方向的频率响应均可以达到5 k Hz，......
6. 《简析压力传感器温度漂移补偿的控制电路设计》PDF+DOC 在现今工业生产中许多新兴技术得到了应用，然而在实际的应用过程中通常发现该类新兴技术存在着诸多隐患，比如就压力传感器来说，在实际应用中往往由于多种因素会产生由于温度所引起的误差，这对于传感器的灵敏程度影响较大，会引起测量结果的误差，这将对工业生产和其它的监控测量设备产生影响。文章对压力传感器温度漂移的......
7. 《压电式压力传感器温度补偿算法的研究》PDF+DOC 介绍了压电式压力传感器由于受工作环境温度的影响，其零点和灵敏度常会发生漂移，因此，需对其进行补偿；讨论了一种基于最小二乘法的补偿算法，运用该算法对温度变化后的数据进行处理，使传感器的输出基本不随温度的变化而改变，从而使传感器的零点漂移和灵敏度漂移问题得到了很好地解决。结果表明，该算法能起到很好的补偿......
8. 《扩散硅压力传感器的综合补偿及其应用》PDF+DOC 针对扩散硅压力传感器所存在的温度漂移和非线性等问题，分析并建立了对其实现综合补偿的方程式，并利用单片机予以实现，最终使数字压力计的精度达到0．05级。...
9. 《深水水位检测用压力传感器补偿方法研究》PDF+DOC 针对压力传感器受温度影响后产生零点漂移和灵敏度漂移的问题，提出了一种基于曲线拟合与插值算法相结合的自动校正方法，比对了该方法对压力传感器的灵敏度误差、温度漂移和零点漂移进行补偿所取得的效果。测试结果证明：该方法可有效提高传感器的抗干扰能力与工作效率。配以自行设计的上位机显示界面，使整套开发系统兼备可......
10. 《变栅距光栅线位移传感器的温度影响分析》PDF+DOC 变栅距光栅线位移传感器工程样机完成后，进行了常态性能试验及环境试验，针对试验中出现的温度漂移问题，通过理论分析、试验验证、软件仿真，证实光栅组件的双金属片式翘曲为产生温漂问题的主要原因，并利用ANSYS-Workbench模拟得到解决方案，通过改进后的筒状腔体结构，使得温漂量值从12nm降到2nm以......