作者：刘峰,高世桥,牛少华,刘海鹏,肖东岳,杨旭 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2019年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2019010170 DOC编号：DOCCGJS2019010179 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《SOI压阻式面内加速度传感器的交叉灵敏度》PDF+DOC2019年第10期 袁本铸,许煜,贾琛 《灵敏度和偏移补偿的MEMS压阻式加速度传感器》PDF+DOC2019年第09期 侯倩萍,常京 《一种低功耗MEMS压阻式传感器的动态测试系统》PDF+DOC2019年第02期 刘峰,金磊,牛少华,刘海鹏,郭建昌 《一种压阻式三轴加速度传感器的设计》PDF+DOC2006年第05期 孙剑,赵玉龙,苑国英,蒋庄德,徐敬波 《叠加电桥检测的加速度传感器设计》PDF+DOC2013年第04期 宋小鹏,杜春晖,葛晓洋,何常德,张文栋 《高g_n值悬臂梁式硅微加速度传感器的结构设计》PDF+DOC2000年第06期 席占稳,赖百坛 《单片三轴大量程加速度传感器性能测试与分析》PDF+DOC2012年第09期 石云波,赵锐,唐军,刘俊,李科杰 《一种压阻式三轴高g值加速度传感器的冲击校准》PDF+DOC2008年第06期 景鹏,马铁华,王燕 《微加速度计固有频率的推导及验证》PDF+DOC2008年第06期 鲍爱达,徐晓辉,张英祥,范波,郭涛 《一种新型MEMS加速度传感器的研制》PDF+DOC2013年第02期 杨要恩,孙幸成,王庆敏

    • 为了实现高g值加速度在空气炮发射的时候触发系统进行采集，需要对压阻式高g值加速度进行精确调零，针对传统的通过滑动变阻器调零误差比较大，提出一种通过建立惠斯通电桥数学模型，分析非线性方程组，采用简化Jacobian矩阵的牛顿迭代法。该算法具有较好的局部收敛性，可以实现MEMS传感器电桥高精度调零，便于准确捕捉到空气炮发射的过载信号。经过数值仿真和空气炮实验表明，采用此方案，延长了弹体生存周期，并能够捕捉到空气炮的发射信号。

    📙 相关资料

    1. 《SOI压阻式面内加速度传感器的交叉灵敏度》PDF+DOC 设计了一种基于绝缘衬底上硅(SOI)片的面内振动压阻式加速度传感器，并针对其交叉灵敏度性能进行了研究，分析得出传感器的灵敏度与压阻微梁的轴向应力呈正比关系，并通过仿真说明该结构形式的加速度传感器具有非常低的交叉灵敏度，对检测方向的输出干扰非常小。进行了工艺加工和实验测试，实验结果表明，该面内振动的压......
    2. 《灵敏度和偏移补偿的MEMS压阻式加速度传感器》PDF+DOC 针对传感器中存在的灵敏度和偏移补偿问题，提出了一种新的MEMS压阻式加速度传感器设计，它由一个传感器和一个总的接口电路构成，可用0.18μm商用CMOS工艺实现设计。传感器结构由8个硼扩散结晶体压敏电阻连接起来构成一个惠斯通电桥来感知加速度；接口电路由一个主放大器和传感器灵敏度及温度偏移补偿电路构成......
    3. 《一种低功耗MEMS压阻式传感器的动态测试系统》PDF+DOC 为了准确分析侵彻过载信号，提出了一种低功耗、高过载的动态测试系统，该系统可以承受2&#215；10~5g过载信号，为了实现采样率高、低功耗、抗冲击的特点，系统采用硅晶振作为主振荡器，并选用低功耗CMOS芯片，当系统开始工作时，处理器进入深度休眠模式，当进入发射模式时开始对外围电路供电.当弹体......
    4. 《一种压阻式三轴加速度传感器的设计》PDF+DOC 介绍了一种基于SOI的硅压阻式三轴加速度传感器的设计和制备.该三轴加速度传感器采用四个相互垂直的悬臂梁支撑中间质量块的结构.加速度传感器通过利用合理布置的压敏电阻构成的惠斯通电桥测量三个方向的加速度.对加速度传感器结构进行了理论分析和有限元仿真优化，确定加速度传感器的结构尺寸，并详细论述了三轴加速度......
    5. 《叠加电桥检测的加速度传感器设计》PDF+DOC 基于压阻效应的叠加电桥检测法加速度传感器采用超对称“八悬臂梁—质量块”结构，构成惠斯通电桥的力敏电阻器布放在悬臂梁的两端，4个惠斯通电桥的输出电压叠加后作为传感器的最终输出，有效提高了加速度传感器的灵敏度。通过数学建模仿真分析验证了方案的可行性。性能测试结果表明：该加速度计的灵敏度为1.1381mV......
    6. 《高g_n值悬臂梁式硅微加速度传感器的结构设计》PDF+DOC 针对高冲击加速度测量 ，分别就硅微加速度传感器等截面和变截面悬臂梁在不同结构尺寸下的应力状况及固有频率进行了有限元数值模拟 ；对等截面和变截面悬臂梁结构的灵敏度进行了分析比较和数值计算 ，结果都说明了采用变截面悬臂梁结构 ，灵敏度可提高近 30 % ；对选择的变截面悬臂梁结构的加速度传感器其量程为 ......
    7. 《单片三轴大量程加速度传感器性能测试与分析》PDF+DOC 对设计的单片三轴MEMS大量程加速度传感器进行了马歇特锤冲击测试和Hopkinson杆冲击校准试验，得到了三轴加速度传感器冲击过载信号及其各轴向的横向灵敏度比、线性度等关键参数。测试结果表明该三轴传感器在受到117 395.95 gn以上的冲击信号作用时，传感器各轴仍然能够正常工作；其三轴轴向灵敏度......
    8. 《一种压阻式三轴高g值加速度传感器的冲击校准》PDF+DOC 介绍了基于Hopkinson杆技术的激光光栅干涉法这种冲击加速度计的绝对校准方法，给出了加速度传感器灵敏度系数的两种标定公式。使用Hopkinson杆在约12000gn的加速度水平下应用上述校准方法对一种三轴压阻式高冲击微型加速度传感器的灵敏度进行了冲击校准。通过对校准结果的分析比较了两种灵敏度标定......
    9. 《微加速度计固有频率的推导及验证》PDF+DOC 为了解决压阻式加速度计的动态特性欠佳的共性，避免微加速度计在工作过程中因为共振导致结构损坏，在结构设计过程中选择合理固有频率是至关重要的。本文就针对一种四边八梁结构的高gn值压阻式加速度计，通过力学知识，简化结构并推导出其固有频率的理论计算公式，并利用有限元仿真软件和测试高gn值加速度计频率特性的方......
    10. 《一种新型MEMS加速度传感器的研制》PDF+DOC 针对传统机械类传感器体积比较大、耗电量高、长期监测稳定性差的不足，研发出一种新颖的基于MEMS(微机械加工)技术的无线传感器。分析了加速度传感器的检测原理，设计了信号检测模块、微控制器模块及无线收发模块等硬件集成电路，并进行了软件实现。设计实验系统对所研发的加速度传感器动态特性进行了研究，实验结果表......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。