作者：马晓鑫,苏淑靖,耿子惠,吴永盛 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2018年第10期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2018100020 DOC编号：DOCYBJS2018100029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 设计了一种侧向场激励剪切波模式的薄膜体声波(FBAR)压力传感器，利用COMSOL Multiphysics有限元仿真软件构建了传感器的三维模型并添加了压电效应多物理场耦合，得到了FBAR压力传感器的位移分布以及谐振频率与响应电压的关系。进一步，模拟了FBAR压力传感器在生理盐水和血液两种液体环境下谐振频率的变化情况。在对FBAR压力传感器施加不同压力条件下，谐振频率逐渐发生改变。通过计算得到该FBAR压力传感器在生理盐水和血液中的压力敏感度分别为480、337. 5 Hz/kPa。验证了FBAR压力传感器在液体环境中的可用性，为应用于液体环境中的压力检测提供了可靠的理论基础。

    📙 相关资料

    1. 《硅微板条谐振式传感器谐振频率分析及计算》PDF+DOC 对硅微机械谐振式传感器的谐振频率计算提出了新的物理模型—两端固支薄板条模型，该模型不同于常说的硅桥（梁）或硅弦模型。计算结果表明该模型更符合实际，优于有关文献结果。...
    2. 《传感器应用电路选登(四)》PDF+DOC 使用机械式振子的压力传感器，其压力和输出信号之间，呈非线性关系。但由于稳定性好、分辩力高、容易和微型计算机连接等特点，大都用作飞机上的压力传感器。图1所示为谐振式压力传感器中的一种。受压元件采用振动膜片，使用粘接有压电元件的复合音叉振子做成将轴向力转换成频率的传感器。(1)式表示轴向力F和谐振频率f......
    3. 《微机械氮化硅梁谐振式压力传感器》PDF+DOC 报导一种新型的电热激励、压阻拾振的氮化硅梁谐振式压力传感器。器件采用微电子机械加工技术和键合技术研制。谐振频率 85kHz ，空气中品质因素Q值接近 10 0 0 ，在真空中达到 40 0 0...
    4. 《一种微带谐振式含水量测量传感器设计》PDF+DOC 设计了一种用于土壤含水量测量的微带谐振环式传感器。利用仿真软件对所设计传感器进行了仿真分析，并完成了谐振环的制作及实验测量。仿真与测量结果表明，这种谐振环式含水量传感器可用于测量土壤含水量，相较传统的电容传感方法、时域反射仪传感方法等，其在测量准确性上具有优势，且体积小巧，易于安装使用。...
    5. 《电磁激励谐振式MEMS压力传感器闭环控制研究》PDF+DOC 在谐振器动力学分析的基础上，系统地比较了谐振式压力传感器检测速度谐振频率和检测位移谐振频率的优缺点。设计出一种零相移的电磁激励谐振式MEMS压力传感器闭环控制系统，该系统利用检测速度谐振频率提高传感器的信号检测稳定性，并且控制电路无需移相环节即可保证传感器在工作频率范围内实现稳定可靠的闭环自激。实验......
    6. 《热激励谐振型压力传感器激励电压的影响与分析》PDF+DOC 针对热激励谐振型压力传感器在不同激励电压下会产生不同的热梯度场，进而影响传感器的谐振频率这一现象，采用开环测试系统进行试验，得到热激励谐振型压力传感器的热激励幅度与谐振频率的变化规律；并对实验结果进行了进一步的分析，为合理优化设计传感器的相关参数提供了一定的理论依据。...
    7. 《SOI压阻式压力传感器敏感结构的优化设计》PDF+DOC 为提高SOI压阻式压力传感器的灵敏度，对传感器敏感结构的弹性膜片和压敏电阻的形状、尺寸等结构参数进行了优化设计。利用COMSOL Multiphysics多物理场耦合分析软件对优化后的敏感结构进行了静力学仿真与分析，完成了敏感芯片的制备和加压测试，测试结果表明：优化后的传感器输出灵敏度为5.98 m......
    8. 《基于Internet的嵌入式Web声表面波压力传感器研究》PDF+DOC SAW压力传感器是一种新型的高精度准数字化传感器 ，是目前国内外在高精度测量与信息化方面的一个研究热点 ，但在国内却少见报道。介绍了SAW压力传感器的工作原理及采用神经网络技术实现传感器智能化的方法 ，并详细地论述了基于LPC2 10 4微处理器、uC/OS -II和LwIPTCP/IP协议实现嵌入......
    9. 《一种新型微机械谐振式压力传感器研究》PDF+DOC 提出了一种微机械谐振式压力传感器的新结构。该传感器采用了电磁激励和差分检测方式。谐振器的制作采用了30μm厚扩散硅的(100)硅片，从而实现了谐振器与压力膜的一体化，避免了谐振梁与压力膜键合引入的应力，并且工艺简单易于实现。文中介绍了结构的有限元仿真(FEA-ANSYSSimulation)优化，工......
    10. 《谐振式石英音叉温度传感器机械切叉新方法》PDF+DOC 提出一种利用机械切叉加工机制作谐振式石英音叉温度传感器(以下简称为QFT)的新方法。它利用切叉机切叉时产生的“误差积累”和合理地利用质量负载，提高传感器参考谐振频率的一致性。切叉机的多刃刀片受到拉力和磨削阻力的作用，呈上凸的“弓形”，因此仅次于弓形的凸端(中间区)音叉臂长较短，位于弓形两端(边缘区)......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。