《高稳定性高精度单晶硅压力、差压变送器的实现》PDF+DOC

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2. 《基于硅硅键合技术的高精度压力传感器的研究》PDF+DOC 硅压阻压力传感器核心部件一般是由单晶硅和玻璃组成的微结构，由于单晶硅和玻璃的材料特性存在差异，在制造过程中会引入封装应力对传感器的性能产生不利影响。采用硅硅键合技术制造压力传感器核心部件的微结构，以同质材料替代异质材料实现器件的封装，可有效减少封装应力，提升压力传感器的性能。文中通过结合硅压阻压力敏......
3. 《扩散硅压力传感器》PDF+DOC 扩散硅压力传感器是利用半导体单晶硅的压阻原理制成的压力传感器，具有精度高、尺寸小，长期稳定性好等优点，广泛用于流体压力、液位和流量的测量。本文较通俗的介绍了这类传感器的工作原理、国内外发展、技术性能和有关应用方面的知识.可帮助非本专业的同志了解并较好的选用这类传感器。...
4. 《扩散硅压力传感器误差补偿方法的研究(一)》PDF+DOC 本文着重讨论了硅压阻式压力传感器在智能差压变送器中温度误差、静压误差的“软补偿”理论和实现方法，提出了表征传感器特性的“群特性”概念。介绍了利用常规仪器进行传感器特性鉴定测量的方法，简要介绍了智能差压变送器的硬件结构和软件系统。...
5. 《硅压力传感器的过载保护设计》PDF+DOC 通过测量硅膜片的结构设计和压力传感器外界保护结构设计，实现了压力传感器过载保护的目的。针对差压传感器表现为正负双腔和中心过载保护膜片联动保护的设计方案，即当过载压力达到超高差压之前，使高压侧膜片和基体贴合，低压侧膜片鼓出，阻止超高差压传入传感器内；对于表压和绝压传感器表现为测量端和过载保护膜片联动的......
6. 《金属电容式传感器的静压影响误差》PDF+DOC 由于市场对差压变送器测量准确度的要求不断提高，导致差压变送器的静压影响误差越来越突出。从金属电容式的结构特点分析出发，并结合一定的试验，得出结论是金属电容式差压传感器由于其本身的结构特点决定，其静压影响误差不可消除或明显减小，只有通过静压补偿或采用硅差压传感器原理，才可实现较小的静压影响误差。...
7. 《智能高精度压力测量仪》PDF+DOC 本仪表是采用了扩散硅压阻式压力传感器的漂移补偿方法而研制出的基于单片微机的一种新型扩散硅式压力测量仪表，具有高精度、响应快、多功能、智能化等特征。仪表整机系统由扩散硅压力传感器、多路开关、程控放大器、A/D转换器。8031单片机，键盘显示接口、D/A...
8. 《扩散硅压力传感器误差补偿方法的研究(二)》PDF+DOC 二、差压传感器特性鉴定系统 为了能够运用“群特性”进行“软补偿”，必须建立与三维校验法相配套的传感器特性鉴定系统。我们在差压变送器的高压腔和低压腔同时用同一压力源加载就可以在零差压条件，测出不同温度时、不同静压下的附加误差n'_(spo)，由于采用同一压力源加载，...
9. 《CY5系列压阻式压力传感器》PDF+DOC CYS系列压力传感器是利用半导体的压阻效应制成的压阻式压力传感器。自1985年鉴定以来，根据一些用户的使用要求，已派生出不同用途的许多品种和规格。这些产品经过试验和试用，证明其性能良好，可投入小批量或批量性生产，供用户选用。下面对这种传感器作一介绍。...
10. 《多晶硅薄膜压阻器件》PDF+DOC 利用半导体压阻效应的压力传感器，由于信息处理技术的进步，正面向高精度、高灵敏、高可靠、低成本发展。其主流是用单晶硅制造的扩散型压力传感器。但最近，使用不同的材料作衬底，通过SiO_2等做绝缘，在其上沉积多晶硅薄膜的SOI结构的压力传感器由于可望制低成本耐高温及抗腐蚀性强的压力传感器...