作者:王玮,高在青,蒋烨,杨宗耀,谢海芬 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2018年第03期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2018030040 DOC编号:DOCCGQJ2018030049 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 通过化学气相沉积法制备石墨烯并采用热蒸发法在石墨烯上沉积锡(Sn)及其氧化物,得到石墨烯基SnO_x-Sn气敏传感器,研究其在室温下对低体积分数甲醛和二氧化氮(NO_2)气体的气敏性及SnO_x-Sn膜厚和基底加热温度对传感器气敏性的影响。通过场发射扫描电镜(FESEM)、原子力显微镜(AFM)等表征手段研究了石墨烯基SnO_x-Sn气敏传感器的形态结构。

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