作者：康文芳,谭秋林,熊继军,卫凯龙,董和磊 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2018年第10期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2018100050 DOC编号：DOCBDTQ2018100059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了一种基于微波环形谐振器的氨气监测的气体传感器，通过天线测试其谐振频率随气体体积分数的变化完成感测操作。环形谐振器是通过丝网印刷工艺将其制备在氧化铝基底上，采用碳纳米管与聚苯胺杂质作为气敏材料，并把制备好的气敏材料旋涂在环形谐振器的极板电容间。制备好的气体传感器在氨气中进行测试，实现了在密闭环境下非接触测量，并且分析了在室温下氨气气体体积分数对传感器谐振频率变化及响应恢复时间的影响。结果表明气体体积分数为10-3时，传感器的灵敏度为11.5 MHz。

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