作者：张爽,朱万彬,李健,鲁秀娥 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《中国光学》2018年第06期 页数：10页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZGGA2018060120 DOC编号：DOCZGGA2018060129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 光斑质量直接影响激光位移传感器测量的精度。为了提高激光位移传感器传感探头光学系统的成像质量，设计了传感探头四片式微小型光学系统。本文在理想成像基础上，分析光束在光学系统中能量传递的变化规律，对比光电探测器的感光能力，利用光学设计软件(ZEMAX)实现了激光位移传感器传感探头微小型光学系统的设计。通过理论计算分析，严格控制传感探头孔径光阑的大小，对光学系统进行优化处理，成像最大弥散斑半径低于3. 3μm，空间分辨率120lp/mm以下的传递函数MTF(Modulation Transfer Function)值大于0. 5，光线扇形图的最大像差小于5μm，畸变量低于0. 1859%。该光学系统具有良好的成像效果，可以满足激光位移传感器探测系统对成像系统成像光斑质量的要求，以保证传感器的测量精确度优于5μm。

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