作者：莫仁芸,朱万彬,钟俊,陈璇 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《中国光学》2010年第05期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZGGA2010050180 DOC编号：DOCZGGA2010050189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对目前国内自主研制的激光位移传感器精度低，测量范围小等问题，提出了一种采用光学设计软件预先仿真整个激光位移传感器光学系统的方法。在分析系统各部分的光学特性的基础上，结合具体要求设计了一个激光位移传感器的光学系统，其工作范围为(50&#177；10)mm。采用系统分割的方法，将整个光学系统分为两部分进行设计，第一部分是激光束的整形透镜，要求在有效的工作范围内得到小而均匀的出射光斑，设计结果表明，在测量范围内，光斑大小能够控制在10-1mm量级；另一部分是被测面散射光接收的成像物镜，该系统的特点是物面和像面相对于光轴都有一定的角度，实验结果表明其成像满足Scheimpflug条件。

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