作者:袁昌荣,孙中圣,李小宁 单位:南京机械工程学会;南京机电产业(集团)有限公司 出版:《机械制造与自动化》2017年第04期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFZZHD2017040240 DOC编号:DOCZZHD2017040249 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 为研究MEMS热膜式流量传感器异物污染后的测量精度变化与污染程度的关系,通过试验分析了芯片表面污染物分布情况,建立了异物堆积模拟示意图。采用fluent流体分析软件,研究了异物堆积后MEMS芯片表面流速的变化。通过分析可知,当有异物堆积时,芯片表面附近区域流速会发生变化,比无异物堆积时变小,且速度差随入口速度的增加而增加。

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