《硅压阻式压力传感器的高精度补偿算法及其实现》PDF+DOC
作者:聂绍忠
单位:中国仪器仪表学会;上海工业自动化仪表研究院
出版:《自动化仪表》2018年第06期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFZDYB2018060130
DOC编号:DOCZDYB2018060139
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硅压阻式压力传感器广泛应用于汽车、医疗、航空航天、环保等领域。随着科学技术的发展,各领域对压力测量精度的要求越来越高。但由于半导体材料的固有特性,硅压阻式压力传感器普遍存在零点随温度漂移、灵敏度随温度变化和非线性等问题。为了提高硅压阻式压力传感器测量精度、降低输出误差,对该传感器的几种常用补偿算法进行了对比分析和研究,提出了一种基于最小二乘法的曲面拟合高精度补偿算法。该补偿算法能有效消除硅压阻式压力传感器零点漂移、灵敏度漂移和非线性误差,提高该传感器的输出精度。试验结果表明,在-40~+80℃温度范围内,硅压阻式压力传感器经该补偿算法计算后,测量精度得以大幅度提高,输出误差小于0.01%F·;S。
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